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南宁华盛宇发展有限公司
联系人:欧阳明 先生 (销售经理) |
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电 话:0771-2037900 |
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手 机:13617880526 |
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供应美国AALBORG质量流量计 |
Instruments & Controls, Inc成立于1972年,是世界上著名的气体质量流量计/控制器的生产
厂家,其产品广泛用于微电子工艺、真空镀膜、 材料科学 、石油化工、医药、环保等领
域。产品特点:性价比高、响应速度快、可靠性高,易于集成、环路保护、备总
量计数器典型应用:CVD、PVD、刻蚀、等离子注入、溅射、ITO、玻璃镀膜、
表面处理等镀膜工艺 。设计特点:-刚性金属结构 -流程范围从0开始到10
sccm直到0到1000slpm -*大压力500psig(34.5Bar) -泄漏率1*10-7氦
气 -NIST系统标定可追踪的证明 -可倾斜的LCD读表 -0-5Vdc或4-20m
A信号输出 -电路保护 -可用作便携式的设备 -0到100%比例显示 -可
配备流量计算机 精度:±1.5%满量程,包括59℉到77℉的气体温度(1
5℃到25℃)和5到60psia(0.4到4.1bar)的压力。可选±1%满量程(
标定精度),在给定的温度与压力值条件下。 重复性:±0.5%满量
程 回应时间:实际流速±2%超过满量程25-100%一般2秒 温度系数:
0.15%满量程/℃ 压力系数:0.01%满量程/psi(0.07bar) 气体
/周围温度:32℉-122℉(5℃-50℃) 输出信号:0-5Vdc,*小
1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路电阻 传感器输出:+12Vdc;
*大200Ω。 |
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